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中芯国际取得腔室泄露检测装置及半导体加工设备，有效确保待检测腔室的密封性:加工设备
金融界2025年8月26日消息，国家知识信息显示，中芯南方集成电路制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为“腔室泄露检测装置及半导体加工设备”的，授权公告号CN223273226
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金融界2025年8月26日消息，国家知识信息显示，中芯南方集成电路制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为“腔室泄露检测装置及半导体加工设备”的，授权公告号CN223273226