金融界2025年8月26日消息，国家知识信息显示，中芯南方集成电路制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为“腔室泄露检测装置及半导体加工设备”的，授权公告号CN223273226U，申请日期为2024年10月加工设备 。
摘要显示，本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种腔室泄露检测装置及半导体加工设备加工设备 。该腔室泄露检测装置包括：第一三通阀和气体传感器；第一三通阀包括内管和外管，内管套设在外管中；外管的一端为盲端，另一端为开口端，内管的两端均为开口端；内管的一端穿出外管的盲端形成第一连接端，内管的另一端与外管的开口端形成第二连接端；第一连接端用于与待检测腔室连通，第二连接端与气体传感器连通；外管上设置有抽气口，抽气口用于与抽气装置连通。
天眼查资料显示，中芯南方集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业加工设备 。企业注册资本650000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯南方集成电路制造有限公司参与招投标项目146次，财产线索方面有商标信息3条，信息107条，此外企业还拥有行政许可406个。
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业加工设备 。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目127次，财产线索方面有商标信息150条，信息5000条，此外企业还拥有行政许可446个。
来源：金融界